专利详情

专利名称	透射型光学元件分层相位成像的装置和方法
申请号	CN201410064172.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103837325A	公开（授权）日	2014.06.04
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	王海燕;刘诚;潘兴臣;孙美智;程君;朱健强
主分类号	G01M11/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/00(2006.01)I
专利有效期	透射型光学元件分层相位成像的装置和方法至透射型光学元件分层相位成像的装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种透射型元件分层相位成像的装置和方法，该装置由相干光源、扩束器、会聚透镜、待测光学元件、二维电动平移台、探测器和计算机组成，本发明相干光源发出的准平行光经过会聚透镜后形成的会聚球面波作为待测光学元件的照明光，在计算机的控制下驱动二维电动平移台移动待测光学元件，并在待测光学元件后一定距离处用探测器记录待测光学元件在不同位置时的衍射光斑，通过计算机处理获得待测光学元件各层的复振幅透过率函数及各层的相位。而且测量过程中不会对光学元件的结构造成任何破坏。