专利详情

专利名称	检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的方法、装置和系统
申请号	CN201410116900.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103837706A	公开（授权）日	2014.06.04
申请（专利权）人	中国科学院地质与地球物理研究所	发明（设计）人	董旸;冯方方
主分类号	G01P21/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01P21/00(2006.01)I
专利有效期	检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的方法、装置和系统至检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的方法、装置和系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明实施例公开了一种检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的方法、装置和系统。所述方法包括：根据MEMS加速度传感器芯片在不同振动频率下的输入信号和输出信号，拟合开环频率特性；将所述MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性与理想状态下的MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性进行比较，确定所述MEMS加速度传感器芯片的结构是否存在问题。根据所述MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性测试数据计算得到所述MEMS加速度传感器芯片的开环传递函数的极点和零点值。根据本发明实施例，可以确定微电子机械系统加速度传感器芯片的开环传递函数，根据此特性可判定MEMS加速度传感器芯片是否满足误差允许范围，并可指导设计MEMS加速度传感器的闭环控制系统。