专利详情

专利名称	一种大口径光学元件的离子束加工装置及方法
申请号	CN201410103275.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103831675A	公开（授权）日	2014.06.04
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	李云;王安定;付韬韬;邢廷文
主分类号	B24B1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B24B1/00(2006.01)I
专利有效期	一种大口径光学元件的离子束加工装置及方法至一种大口径光学元件的离子束加工装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种大口径光学元件的离子束加工装置及方法，所述装置包括一主真空舱、副真空舱、被加工件夹持机构、试验样品夹持机构、试验样品传输机构、离子源、数控三坐标位移台和气动真空门，主真空舱为大口径光学元件及样品材料提供真空加工环境；试验样品夹持机构用于夹持工件样品；试验样品传输机构用于在主真空舱与副真空舱之间来回移动样品；离子源用于光学零件表面面形材料的去除；数控三坐标位移台用于驱动离子源运动；气动真空门用于连通与隔离主真空舱和副真空舱。所述加工方法能对大型光学元件进行分块加工，即便加工过程中离子源性能劣化，该加工方法依然能获得整个表面形貌一致优良的光学元件。