专利详情

专利名称	一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构
申请号	CN201410048364.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103822891A	公开（授权）日	2014.05.28
申请（专利权）人	无锡中科智能农业发展有限责任公司;中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	陶春辉;李淼;张健;高会议;董俊;李华龙;郑守国
主分类号	G01N21/3504(2014.01)I	IPC主分类号	G01N21/3504(2014.01)I;G01N21/01(2006.01)I
专利有效期	一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构至一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种小尺寸NDIR型气体传感器的光学结构，包括相对布置的上部本体和下部本体，其上均设置反射凹槽,两相邻反射凹槽之间设置隔板，上部本体的反射凹槽的中心位置处对应下部本体的隔板位置处，下部本体的反射凹槽的中心位置处对应上部本体的隔板位置处，光源、探测器分别布置在上部本体和下部本体的边角处，上部本体和下部本体共同围成由光源到探测器的光学路径。本发明由于优化结构从而减小了尺寸，用微组装来实现也能使其整体尺寸在1cm×1cm。另外，因为是小尺寸器件，所以可以使用MEMS工艺进行制作，可使此类传感器大大降低成本，同时MEMS工艺可以做到降低产品个体差异性，从而达到批量生产的目的。