专利详情

专利名称	可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统
申请号	CN201320643073.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203605906U	公开（授权）日	2014.05.21
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	张学敏;段战军;闫肃;魏儒义;段嘉友;李华;张志军
主分类号	G01B11/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/00(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I
专利有效期	可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统至可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型涉及一种可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统，该系统包括成像测量装置、立式转台、连接板、二维平移台以及光栅尺；二维平移台通过连接板设置在立式转台上并随立式转台绕立式转台的旋转轴进行旋转；待测离轴反射镜设置在二维平移台上并在二维平移台上进行二维运动；光栅尺的一端固定在连接板上，另一端止靠在平移台上；成像测量装置的光轴与立式转台的转轴是重合的。本实用新型提供了一种测量精度高的可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统。