专利详情

专利名称	探针台、有机薄膜器件的制备与测试集成系统及其方法
申请号	CN201210431757.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103792443A	公开（授权）日	2014.05.14
申请（专利权）人	国家纳米科学中心	发明（设计）人	江潮;尹虹;李德兴;张一伟
主分类号	G01R31/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01R31/00(2006.01)I;H01L51/00(2006.01)I
专利有效期	探针台、有机薄膜器件的制备与测试集成系统及其方法至探针台、有机薄膜器件的制备与测试集成系统及其方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种探针台、有机薄膜器件的制备与测试集成系统及其方法。其中，使有机薄膜器件制备装置（200）与探针台（100）密封连接并在二者之间形成对外密封的样品传递通道，通过设置样品传递装置（2）以将样品经由所述样品传递通道在所述有机薄膜器件制备装置（200）与所述探针台（100）之间进行传送，样品传送过程的全程均隔绝外界环境气氛影响，使得有机薄膜器件的生成和测试均隔离外界环境并处于密闭和真空环境中，有效提高测试准确度。