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一种用于单粒子激光脉冲试验的功率VDMOS器件

  • 申请号:CN201320739599.1
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
  • 公开(公开)号:CN203588990U
  • 公开(公开)日:2014.05.07
  • 法律状态:授权
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种用于单粒子激光脉冲试验的功率VDMOS器件
申请号 CN201320739599.1 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN203588990U 公开(授权)日 2014.05.07
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 高博;丁凯凯;刘刚;王立新;韩郑生;张彦飞;孙博韬
主分类号 H01L23/04(2006.01)I IPC主分类号 H01L23/04(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I
专利有效期 一种用于单粒子激光脉冲试验的功率VDMOS器件 至一种用于单粒子激光脉冲试验的功率VDMOS器件 法律状态 授权
说明书摘要 本实用新型属于半导体试验测试技术领域,公开了一种用于单粒子激光脉冲试验的功率VDMOS器件;包括:VDMOS芯片以及表贴管壳;所述VDMOS芯片封装在所述表贴管壳内;在所述表贴管壳背面,对应VDMOS芯片漏极位置设置通孔。本实用新型通过在VDMOS管的管壳上设置通孔,实现VDMOS管功率芯片的双向单粒子激光脉冲试验,从而更好的模拟功率器件的单粒子效应。

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