专利详情

专利名称	一种全息光栅曝光干涉条纹相位移动与锁定装置
申请号	CN201310693406.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103698983A	公开（授权）日	2014.04.02
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	宋莹;巴音贺希格;姜珊;李文昊;潘明忠
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I
专利有效期	一种全息光栅曝光干涉条纹相位移动与锁定装置至一种全息光栅曝光干涉条纹相位移动与锁定装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种全息光栅曝光干涉条纹相位移动与锁定装置，属于光谱技术领域中涉及的一种装置。要解决的技术问题是提供一种全息光栅曝光干涉条纹相位移动与锁定装置。技术方案包括光源激光器、平面反射镜、分光片、声光移频器、定频声光调制器、光栅基底、相位测量接收器、控制器。光源激光分光后，两束光束通过定频声光调制器和声光移频器移频，一部分出射光干涉形成曝光干涉条纹，另外一部分分别进入两个相位测量接收器，通过外差法获取相干光束的相位差，控制器控制声光移频器驱动频率维持相位差恒定。该装置可以准确的对全息光栅曝光干涉条纹的相位进行有效的移动控制和相位锁定，对全息光栅制作技术与工艺水平的提高具有重要意义。