专利详情

专利名称	一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法
申请号	CN201310655163.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103616796A	公开（授权）日	2014.03.05
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	邓启凌;张满;史立芳;胡松;秦燕云;曹阿秀
主分类号	G03F7/00(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/00(2006.01)I
专利有效期	一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法至一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种紫外光固化软印刷复合模板的制备方法，包括如下步骤：1）对表面含有浮雕微纳米结构的原始母板进行表面防粘处理；2）将巯基-烯材料均匀涂覆在步骤1）中的经过防粘处理的原始母板；3）将一块透明的弹性胶质材料覆盖在步骤2）中的巯基-烯材料上；4）利用紫外光对巯基-烯材料进行固化；5）固化成型后，将巯基-烯材料结构层和弹性胶质材料组成的复合微纳米结构与步骤1）中的原始母板分离；6）对步骤5）中的复合微纳米结构进行表面防粘处理，制备获得紫外光固化软印刷复合模板。本发明的显著特点是制作成本低廉，工艺简单，分辨率高，制备过程无需刻蚀和高真空条件，促进了软印刷技术在微纳结构加工领域的广泛应用。