一种具有双层钝化膜的AlGaN基紫外探测器
- 申请号：CN201320460221.8
- 专利类型：实用新型
- 申请（专利权）人：中国科学院上海技术物理研究所
- 公开(公开)号：CN203456486U
- 公开(公开)日：2014.02.26
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 一种具有双层钝化膜的AlGaN基紫外探测器 | ||
| 申请号 | CN201320460221.8 | 专利类型 | 实用新型 |
| 公开（公告）号 | CN203456486U | 公开（授权）日 | 2014.02.26 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 刘秀娟;张燕;李向阳;王立伟;卢怡丹;常超 |
| 主分类号 | H01L31/101(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/101(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I;H01L31/0248(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种具有双层钝化膜的AlGaN基紫外探测器 至一种具有双层钝化膜的AlGaN基紫外探测器 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | 本实用新型公开一种具有双层钝化膜的AlGaN基紫外探测器，器件结构为：在蓝宝石衬底上依次为AlN缓冲层、n型AlGaN层、i型AlGaN层、p型AlGaN层、下层Si3N4钝化膜、上层Si3N4钝化膜，n欧姆接触电极位于n型AlGaN层上，p欧姆接触电极位于p型AlGaN层上。本实用新型的优点在于AlGaN基紫外探测器中钝化膜应力低、致密度高、耐腐蚀。 | ||
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