专利详情

专利名称	一种碎屑收集装置和包括该装置的EUV光源系统
申请号	CN201320470778.X	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203457399U	公开（授权）日	2014.02.26
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	王宇;谢婉露;吴晓斌;张罗莎;陈进新;王魁波;罗艳
主分类号	H05G2/00(2006.01)I	IPC主分类号	H05G2/00(2006.01)I
专利有效期	一种碎屑收集装置和包括该装置的EUV光源系统至一种碎屑收集装置和包括该装置的EUV光源系统	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种碎屑收集装置。所述碎屑收集装置包括金属液滴产生装置(10)和金属液滴收集装置(11)，所述金属液滴产生装置(10)位于所述金属液滴收集装置(11)的正上方，且具有开口竖直向下的多个喷射口，每个喷射口可以喷射出具有一定间隔的金属液滴组成的金属液滴串。金属液滴收集装置(11)具有一个正对所述金属液滴帘(12)的液滴入口，使得所述金属液滴帘(12)流入该液滴入口后被收集。本实用新型能够有效地降低碎屑含量，能够应用于EUV光源系统中，从而有效地降低碎屑的污染和元件的损坏。