专利详情

专利名称	大口径离轴非球面光学元件几何参数的测算方法
申请号	CN201310517036.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103591888A	公开（授权）日	2014.02.19
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	郭玲玲;任建岳;张星祥;张立国;何斌;李亚鹏
主分类号	G01B11/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/00(2006.01)I;G01B11/255(2006.01)I
专利有效期	大口径离轴非球面光学元件几何参数的测算方法至大口径离轴非球面光学元件几何参数的测算方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	大口径离轴非球面光学元件几何参数的测算方法，涉及光学检测领域，解决现有大口径离轴非球面光学元件几何参数难以准确测量的问题；调整补偿器、干涉仪与待检非球面元件三者共轴。使用激光跟踪仪分别测量补偿器外表面处的坐标以及待检非球面镜处的坐标。使用补偿器柱面处测得的坐标数据，拟合非球面元件的光轴方向。依据拟合的光轴方向将测量坐标系下待检非球面处的坐标测量点进行旋转，使得旋转后的测量点对应的光轴与测量坐标系Z轴平行。对旋转后的非球面镜接触处的角锥反射镜球心测量点坐标，依据曲面方程进行非线性最小二乘拟合，得到待检非球面光学元件的几何参数。本方法测量过程简单，适用于大口径离轴非球面元件几何参数的测算。