
紫外探测器
- 申请号:CN201320421136.0
- 专利类型:实用新型
- 申请(专利权)人:中国科学院物理研究所
- 公开(公开)号:CN203434179U
- 公开(公开)日:2014.02.12
- 法律状态:
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专利详情
专利名称 | 紫外探测器 | ||
申请号 | CN201320421136.0 | 专利类型 | 实用新型 |
公开(公告)号 | CN203434179U | 公开(授权)日 | 2014.02.12 |
申请(专利权)人 | 中国科学院物理研究所 | 发明(设计)人 | 梅增霞;侯尧楠;梁会力;刘尧平;杜小龙 |
主分类号 | H01L31/09(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/09(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I |
专利有效期 | 紫外探测器 至紫外探测器 | 法律状态 | |
说明书摘要 | 本实用新型提供了一种紫外探测器。所述紫外探测器包括:ZnO衬底;布置在所述ZnO衬底上的BeO绝缘层;以及布置在所述BeO绝缘层上的MgZnO薄膜层或BeZnO薄膜层。本实用新型的紫外探测器采用ZnO材料作为衬底,MgZnO薄膜层或BeZnO薄膜层可在ZnO衬底上实现低应变的准同质外延生长,从而具备更高的结晶质量,因此非常适合做各种环境下的紫外乃至深紫外探测材料。 |
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
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成功 - 06 支付尾款
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平台保障
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