专利详情

专利名称	太阳能基板薄膜多任务测量系统
申请号	CN201210281665.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103575222A	公开（授权）日	2014.02.12
申请（专利权）人	北京智朗芯光科技有限公司;中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	吴文镜;王林梓;李国光;刘涛;夏洋;马铁中
主分类号	G01B11/06(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/06(2006.01)I;G01N21/31(2006.01)I
专利有效期	太阳能基板薄膜多任务测量系统至太阳能基板薄膜多任务测量系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明一种太阳能基板薄膜多任务测量系统，包括测量平台、光源、用于获取晶硅基板光谱数值和晶硅参考样品光谱数值的光谱仪、计算机；所述测量平台可同时放置晶硅基板和晶硅参考样品，并且所述测量平台中入射光入射角度可进行调整；所述计算机通过控制电缆与所述测量平台相连；所述计算机通过数据线与所述光谱仪相连，接收晶硅基板光谱数值和晶硅参考样品光谱数值，并根据晶硅基板光谱数值和晶硅参考样品光谱数值计算晶硅基板的膜厚、材料光学常数及相应的粗糙度修正系数α；所述测量平台通过“Y”形光纤分别与所述光源和光谱仪连接。本发明提供的一种硅基太阳能电池表面增透薄膜的测量系统，实现了通过反射率测量方法量测硅基太阳能电池表面增透薄膜厚度和光学特征。