专利详情

专利名称	一种硅片甩干系统
申请号	CN201210260896.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103575075A	公开（授权）日	2014.02.12
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	熊文娟;王大海;蒋浩杰
主分类号	F26B11/04(2006.01)I	IPC主分类号	F26B11/04(2006.01)I;F26B25/18(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I
专利有效期	一种硅片甩干系统至一种硅片甩干系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种硅片甩干系统，所述系统包括甩干桶、甩干桶内用于固定第一片架的甩干支架，其中所述第一片架用于盛放具有第一尺寸的硅片，所述甩干桶内设置有硅片固定装置，所述硅片固定装置与所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时裸露出来的边缘接触于一点以将置于所述甩干桶内的所述第一片架中的所述具有第一尺寸的硅片固定住，防止所述具有第一尺寸的硅片在置于第一片架中时滑出。相对于现有技术中固定部件至少有两点与硅片接触的甩干系统，本发明实施例的甩干系统大大减少了在甩干过程中硅片的玷污面积，进而提高了硅片的清洁度。