专利详情

专利名称	一种扫描近场光学检测台
申请号	CN201310574080.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103558419A	公开（授权）日	2014.02.05
申请（专利权）人	江苏尚飞光电科技有限公司;中科院南通光电工程中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	黄海阳;武爱民;甘甫烷;盛振;李伟
主分类号	G01Q60/18(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q60/18(2010.01)I
专利有效期	一种扫描近场光学检测台至一种扫描近场光学检测台	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种扫描近场光学检测台，包括：本体（22）；所述本体包括相互垂直的XOY面、YOZ面以及ZOX面；所述XOY面、YOZ面以及ZOX面围成一个收容空间；收容于所述收容空间内用于放置工件（17）的矩形工作台（18）；所述矩形工作台包括底面以及相互垂直相邻的四个侧面；所述矩形工作台的底面四角设有与所述本体XOY面固定的四个液压驱动单元（21）；所述矩形工作台相邻的两个侧面分别设有与所述本体YOZ面以及ZOX面固定的两个液压驱动单元（11）；所述本体YOZ面上设有位于所述工件上方的用于实现所述工件在Z轴方向上的定位的喷嘴单元。本发明支柱伸长量可调、可测，因此工作台的位移精度较高且控制较为简单；工作台运动的有效行程较大。