专利详情

专利名称	一种机械手操作系统
申请号	CN201310522337.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103560102A	公开（授权）日	2014.02.05
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	吴燕华;李智;曾中明;张宝顺;杨辉
主分类号	H01L21/677(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/677(2006.01)I
专利有效期	一种机械手操作系统至一种机械手操作系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明揭示了一种机械手操作系统，包括真空腔室、位于真空腔室内的双头机械手以及位于真空腔室外的驱动装置，所述的双头机械手和驱动装置之间设有传动装置，驱动装置通过传动装置将动力传递至双头机械手，并驱动所述双头机械手进行双向伸缩、升降和／或旋转，所述传动装置包括至少一个波纹管，该波纹管密封于所述驱动装置和双头机械手之间。由于采用了波纹管密封，故而能在真空度优于10-8Pa的超高真空环境中使用。又由于双头机械手的双头伸缩模式能传送两种不同类型的物品，既提高了操作效率，又提高了灵活性，比如其一头可用来传送较重的样品托，另一头可用来传送较小的样品。而且，最大传送距离大于真空腔室的半径，可达到腔体半径的1.6倍，最大程度的利用所在腔室的空间。