专利详情

专利名称	一种极紫外辐照损伤测试设备
申请号	CN201320454021.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203414392U	公开（授权）日	2014.01.29
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	陈进新;吴晓斌;谢婉露;张罗莎;罗艳;王魁波
主分类号	G01N17/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01N17/00(2006.01)I
专利有效期	一种极紫外辐照损伤测试设备至一种极紫外辐照损伤测试设备	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种极紫外辐照损伤测试设备，EUV光源室用于容纳EUV光源，EUV光源用于辐射出宽谱近软X射线；滤波片室用于放置滤波片，滤波片用于将宽谱近软X射线滤波成窄谱EUV辐照；收集镜室用于放置收集镜，收集镜用于将EUV辐照汇聚到样品室中；光谱检测室用于安装一个反射镜和一个光谱仪)，反射镜用于将来自收集镜室的EUV辐照反射到光谱议；样品室具有一个三维平移台，其用于安装所述样品、CCD和能量计，并且能够使样品、CCD和能量计轮流移动至能够接受EUV辐照的同一位置。本实用新型能够得到不同样品的极紫外辐照损伤情况。