基于达曼光栅的同步相移干涉装置
- 申请号：CN201310460474.X
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN103542803A
- 公开(公开)日：2014.01.29
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 基于达曼光栅的同步相移干涉装置 | ||
| 申请号 | CN201310460474.X | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103542803A | 公开（授权）日 | 2014.01.29 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 张宁;周煜;刘立人;孙建锋;宋强;许倩 |
| 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I |
| 专利有效期 | 基于达曼光栅的同步相移干涉装置 至基于达曼光栅的同步相移干涉装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种基于达曼光栅的同步相移干涉装置，该装置由激光器，扩束准直单元，分光棱镜，四象限相位板，合束棱镜，第一反射镜，待测物体，达曼光栅分束整形单元，第二反射镜，会聚透镜，探测器阵列，计算机构成。本发明大大降低了系统的波像差，对偏振不敏感，因而不存在偏振像差，测量精度高，易于使用。 | ||
交易流程
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选取所需
专利 -
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确认专利
可交易 - 03 签订合同
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过户资料
平台保障
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