专利详情

专利名称	微区变角度光谱测试系统
申请号	CN201210381236.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103528684A	公开（授权）日	2014.01.22
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	段宣明;李敬;董贤子
主分类号	G01J3/28(2006.01)I	IPC主分类号	G01J3/28(2006.01)I
专利有效期	微区变角度光谱测试系统至微区变角度光谱测试系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种微区光谱测试系统。该测试系统包括入射光路、样品台和接收光路，所述入射光路包括位于入射光路径中的入射显微物镜，第一光谱测试单元和第一实时观察系统；所述接收光路包括位于出射光路径中的接收显微物镜，第二光谱测试单元和第二实时观察系统，该测试系统进一步包括：样品台转动装置，用于调节所述样品台绕垂直于样品台的转轴转动，和第一光路转动装置，用于调节所述入射光路或接收光路绕所述转轴旋转。本发明的微区光谱测试系统可对微区样品提供入射角度和接收角度可以改变的透射、反射或荧光等多种光谱测试模式。