专利详情

专利名称	一种MOCVD自动化控制系统
申请号	CN201310426749.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103526189A	公开（授权）日	2014.01.22
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	王劼;张立国;范亚明;张洪泽
主分类号	C23C16/52(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/52(2006.01)I
专利有效期	一种MOCVD自动化控制系统至一种MOCVD自动化控制系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种MOCVD自动化控制系统，包括执行模块和控制模块，该执行模块包括分别用于控制反应室内温度、压力、气体流量的温度控制模块、压力控制模块、流量控制模块，该控制模块可通过PID算法控制执行模块，该控制模块的扫描单元实时扫描所述执行模块，并自动记录扫描得到的执行信息到内置信息记录单元，同时传送执行信息至与控制模块连接的人机界面模块。本发明自动化程度高，可以自动检查和模拟MOCVD工艺，实现对MOCVD工艺的调整和优化，并且无需生长经验也可操作使用，同时能够大幅减轻工艺人员的工作量，还可以大大节省工艺搜索带来的能源，原材料及人力的巨大浪费。