一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法
- 申请号：CN201210204296.X
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院大连化学物理研究所
- 公开(公开)号：CN103505980A
- 公开(公开)日：2014.01.15
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法 | ||
| 申请号 | CN201210204296.X | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103505980A | 公开（授权）日 | 2014.01.15 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 郭庆;任泽峰 |
| 主分类号 | B01D53/04(2006.01)I | IPC主分类号 | B01D53/04(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法 至一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明涉及一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法，采用以下方法：将抽真空设备接入外部的真空容器，通过真空泵抽气，检漏无漏点；利用外部加热的方式烘烤抽真空设备和外部的真空容器，达到超高真空要求，依次向液氮薄壁桶注入液氮，待液氮薄壁筒和无氧铜套温度恒定后（～-180℃）；使用钛升华泵90秒，稳定约半小时，可实现真空腔室真空≤15×10-13torr。本发明的优点是操作简便，成本低，效率高。 | ||
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