专利详情

专利名称	一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法
申请号	CN201310473266.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103499309A	公开（授权）日	2014.01.08
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	贾辛;徐富超;谢伟民;邢廷文
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法至一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种带有环境反馈的自动干涉检测系统及方法，自动干涉检测系统包括了独立地基，第一振动测量探头，主动隔振系统，大理石平台，第二振动测量探头，第三振动测量探头，调整架，转台，待测镜架，第四振动测量探头，第一导轨，第二导轨，干涉仪衍架，温度测量探头，外壳，干涉仪测量头，第五振动测量头，计算机组成。第一振动测量探头用于测量地面垂直振动，第二振动测量探头用于测量水平振动，第三振动测量探头用于测量平台台面垂直振动，第四振动测量探头用于测量待测镜架上振动，第五振动测量探头用于测量干涉仪测量头上垂直振动，温度测量探头用于测量干涉仪测量头和待测镜架之间的温度。