专利详情

专利名称	透射型大口径元件相位测量装置和测量方法
申请号	CN201310382709.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103499429A	公开（授权）日	2014.01.08
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	王海燕;刘诚;潘兴臣;程君;孙美智;朱健强
主分类号	G01M11/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/00(2006.01)I;G01B11/26(2006.01)I
专利有效期	透射型大口径元件相位测量装置和测量方法至透射型大口径元件相位测量装置和测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种透射型大口径光学元件相位测量装置和测量方法，准平行光经过透镜后形成的会聚球面波作为照明光，移动随机相位板，并在相位板后一定距离处用探测器记录相位板在不同位置时的衍射光斑，通过计算机进行迭代运算的方式获得相位板的复振幅透过率函数及其表面照明光光场分布，再将照明光的振幅和相位分布逆传播至透镜后表面处，求得该处光场分布；将待测光学元件放到透镜前表面，重复上述过程，求得透镜后表面光场分布。求出两次测量结果的相位差，即为待测光学元件的相位。本方案测量尺寸不受探测器尺寸的限制，此外，由于采用的是两次测量求相位差的方式进行测量，因此对于光路照明光质量的要求大大降低，适用范围广泛。