专利详情

专利名称	一种小尺寸银纳米颗粒的制备方法
申请号	CN201310454566.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103489754A	公开（授权）日	2014.01.01
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	孙海涛;杨洪璋;路程;刘琦;吕杭炳;龙世兵;谢常青;刘明
主分类号	H01L21/02(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/02(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I
专利有效期	一种小尺寸银纳米颗粒的制备方法至一种小尺寸银纳米颗粒的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种小尺寸银纳米颗粒的制备方法，包括:衬底预备;光刻形成惰性电极图形;电子束蒸发惰性电极金属;剥离形成惰性电极;套刻形成活性电极图形;电子束蒸发活性电极金属;剥离形成两端电极平面器件;以及在电场激励下形成银金属纳米颗粒。利用本发明，通过电化学反应的方法，调整电场激励过程中的电流值，可以获得不同尺寸的金属纳米颗粒，并且在不同的衬底材料上金属纳米颗粒的分布也不同，既可以获得链状排布的金属纳米颗粒又可以获得面分布的金属颗粒，实现极小尺寸金属纳米颗粒，流程简单，可控性较强，所形成的金属纳米颗粒不受化学试剂的污染与影响。