专利详情

专利名称	法布里-珀罗式压强感测腔及应用其的光纤压强传感器
申请号	CN201310363259.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103487200A	公开（授权）日	2014.01.01
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	王兆刚;张文涛;李芳
主分类号	G01L11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01L11/02(2006.01)I;G02B6/44(2006.01)I
专利有效期	法布里-珀罗式压强感测腔及应用其的光纤压强传感器至法布里-珀罗式压强感测腔及应用其的光纤压强传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种法布里-珀罗式压强感测腔及应用其的光纤压强传感器。该光纤法布里-珀罗式压强感测腔包括：壳体；第一膜片，在其中心位置设置杯状凸台；第二膜片，在其中心位置设置柱形凸台，柱形凸台的外柱面和杯状凸台的内筒面以共轴插接方式可滑动匹配，杯状凸台的底面与柱状凸台的顶面之间形成一容积空间；光纤，穿过柱形凸台伸入容积空间内，其端面和杯状凸台的底面作为法布里-珀罗腔的两个反射面；第一/第二膜片随外界气压的变化而运动，从而柱形凸台在杯状凸台内前后运动，进而引起法布里-珀罗腔的腔长发生变化。本发明中，杯状凸台的内侧壁与柱形凸台外侧壁共轴插接，可以保证膜片受到压力时法布里-珀罗腔的两个反射面始终平行。