专利详情

专利名称	一种气体分析装置及方法
申请号	CN201310430575.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103487593A	公开（授权）日	2014.01.01
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	宗明成;徐天伟;黄有为;马向红;魏志国
主分类号	G01N35/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01N35/00(2006.01)I;G01N35/10(2006.01)I;G01N1/22(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I
专利有效期	一种气体分析装置及方法至一种气体分析装置及方法	法律状态	授权
说明书摘要	本发明提供一种具有原位标定功能的气体分析装置。所述装置包括：取样室，与待测腔室通过第一阀门相连，用于引入待测腔室的样品气体；分析室，与取样室通过第二阀门相连，分析室上设有真空规管，用于监测分析室的真空度；气体分析器，设于分析室内，用于对待分析气体进行分析测试；标定模块，用于向气体分析器提供标准气体，对气体分析装置进行定量标定。本发明还提供一种气体分析方法。本发明通过标定模块对气体分析装置进行定期标定，通过加热器进行烘烤除气，并通过吹扫放气模块进行气体吹扫及保护气充入，保持系统持续具备良好的测试本底，保证测试准确性，可实现十亿分之一量级的气体浓度测试，尤其适用于对EUV真空环境进行气体分析检测。