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一种投影光学系统

  • 申请号:CN201310428635.7
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所
  • 公开(公开)号:CN103472586A
  • 公开(公开)日:2013.12.25
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种投影光学系统
申请号 CN201310428635.7 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103472586A 公开(授权)日 2013.12.25
申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 冉英华;邢廷文;林妩媚;吕保斌;陈红丽;张海波;白瑜
主分类号 G02B27/18(2006.01)I IPC主分类号 G02B27/18(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I;G02B7/04(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期 一种投影光学系统 至一种投影光学系统 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明提供一种投影光学系统,用于将物面的图像成像到像面。该系统沿光轴方向依次安置第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组,四个透镜组处于同一光轴。第一透镜组具有负光焦度,第二透镜组具有正光焦度,第三透镜组具有负光焦度,第四透镜组具有正光焦度。本发明的投影光学系统既能有效地减小系统共轭距和减少镜片数量、降低系统的加工、检测、装调成本,同时也能提供较大的物方和像方工作距,满足高分辨率和高像质要求。

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