专利详情

专利名称	透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置
申请号	CN201310442669.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103472560A	公开（授权）日	2013.12.25
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	赵磊;杨怀江;隋永新;张德福
主分类号	G02B7/02(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/02(2006.01)I
专利有效期	透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置至透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置，属于光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决现有技术光学元件X、Y、θZ三自由度微动调整装置加工工艺难度大、加工成本高的问题，该装置包括透镜、镜框和三个驱动器，所述镜片与镜框之间通过胶粘的方式连接，所述三个驱动器固定在镜框上，其特征在于，所述镜框为镜框内环、镜框外环和三处周向均布的折叠铰链组成的一体化结构，所述镜框内环上周向均布有三处驱动器施力块，所述透镜与镜框内环之间通过胶粘的方式连接；所述三个驱动器固定在镜框外环上，驱动器的输入位移作用在对应的驱动器施力块上；所述折叠铰链由切向弹片和径向弹片组成，所述切向弹片与镜框内环相连，所述径向弹片与镜框外环相连。