专利详情

专利名称	双电机光学元件轴向调节装置
申请号	CN201310459341.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103472555A	公开（授权）日	2013.12.25
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	彭海峰;巩岩;孙振;华洋洋;郭抗;倪明阳
主分类号	G02B7/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	双电机光学元件轴向调节装置至双电机光学元件轴向调节装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	双电机光学元件轴向调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件调心装置中存在的驱动器数量较多，且机构复杂，加工难度大的问题，该装置包括四个电容传感器、镜框、八个联接螺钉、柔顺驱动块和两个压电驱动器，所述四个电容传感器与镜框上表面平行放置，沿镜框上面边缘均布，且与柔顺驱动块的各直角边中点对应；镜框与柔顺驱动块通过联接螺钉固定；两个压电驱动器分别设置在柔顺驱动块的对角位置；镜框内放置光学元件；该装置在快速精密的调整的同时，避免了机械式铰链存在的摩擦、润滑、滞后的问题；柔顺驱动块作用在镜框上，能够有效降低调整力对光学元件面型的破坏；结构简单、需要电机数量少、加工成本低。