专利详情

专利名称	光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置
申请号	CN201310441881.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103472559A	公开（授权）日	2013.12.25
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	彭海峰;巩岩;倪明阳;赵磊;秦硕
主分类号	G02B7/02(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置至光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件轴向调整装置存在的调整行程小，存在倾斜误差的问题，该装置包括电容传感器、镜框、宏微调节机构和导向导轨，电容传感器设置在镜框的上方，用于检测镜框的移动距离；宏微调节机构设置在镜框的边框下面，用于对镜框的宏微动调节；导向导轨设置在镜框的边框外侧，用于限制镜框的移动；所述镜框包括周向均布的三个凸台及三个导向凸台；电容传感器设置凸台上方，宏微调节机构作用在凸台上，导向凸台与导向导轨配合；该装置能在保证调整精度的同时，实现大行程调节；同时，驱动结构作用在镜框上，降低了调整力对光学元件面型的破坏。