专利详情

专利名称	全息变间距光栅曝光光路的装调装置
申请号	CN201310449542.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103472512A	公开（授权）日	2013.12.25
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	巩岩;刘壮
主分类号	G02B5/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/18(2006.01)I;G03H1/12(2006.01)I
专利有效期	全息变间距光栅曝光光路的装调装置至全息变间距光栅曝光光路的装调装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	全息变间距光栅曝光光路的装调装置，属于光谱技术领域，为解决现在全息变间距光栅曝光系统装调过程中，测量难度大、精度低的问题，包括检测光源与光栅基底夹持检测平台；所述检测光源用于提供两支相干平行光；由激光器、入射光纤准直镜、Y型单模光纤、第一出射光纤准直镜和第二出射光纤准直镜组成，激光器产生的激光，通过入射光纤准直镜会聚进入Y型单模光纤，激光从Y型单模光纤出射后经第一出射光纤准直镜与第二光纤准直镜后成平行光；所述基底夹持检测平台用于产生参考光，并记录待测光与参考光的干涉条纹，由底座、角度盘、定位槽、微调滑块、摆臂、管夹、扩束镜、半透半反镜和CCD相机、立柱、一维调整卡具和自动定心镜架组成。