专利详情

专利名称	一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法
申请号	CN201310375485.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103469168A	公开（授权）日	2013.12.25
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	柯培玲;王振玉;张栋;汪爱英;谢仕芳
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I
专利有效期	一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法至一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种制备润湿性可控的高光滑高硬TiN薄膜的方法，该方法采用高功率脉冲磁控溅射技术，将清洗烘干后的基体放入腔体中，抽真空后向腔体内通入惰性气体与氮气，开启高功率脉冲磁控溅射源，在基体表面沉积TiN薄膜；通过调节基底脉冲负偏压，改变TiN薄膜的表面微结构，从而制备出润湿性可控的TiN薄膜。实验证实，该方法简单易行，不仅能够得到高光滑度、高硬度的TiN薄膜，而且通过对基体脉冲负偏压的简单调控就能实现对TiN薄膜润湿性的调控，因此是一种制备高性能TiN薄膜的理想方法，具有良好的应用前景。