专利详情

专利名称	一种软X射线平焦场光谱仪的光谱分辨率提高方法
申请号	CN201310306376.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103453991A	公开（授权）日	2013.12.18
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	刘正坤;陈火耀;王庆博;刘颖;付绍军
主分类号	G01J3/28(2006.01)I	IPC主分类号	G01J3/28(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I
专利有效期	一种软X射线平焦场光谱仪的光谱分辨率提高方法至一种软X射线平焦场光谱仪的光谱分辨率提高方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提出一种软X射线平焦场光谱仪的光谱分辨率提高方法，利用光栅分区的方法，在不改变光谱仪结构的前提下分别设计各分区的槽型参数，改变各分区的衍射效率，从而进一步修正像差来提高光谱分辨率。本发明的优点为：光栅制作中沿垂直于条纹方向进行分区，分别设计不同的槽型参数，改变其衍射效率分布，进一步修正像差；在保证衍射效率的前提下，选择合适的分区结构槽型参数，提高了像差较严重波长的分辨率，而且不影响其他波长的分辨率，从而使光谱仪在整个使用波段上获得较好的分辨率。