专利详情

专利名称	三明治型刀片状电极的相变存储结构及其制备方法
申请号	CN201310370735.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103441215A	公开（授权）日	2013.12.11
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	刘波;宋志棠
主分类号	H01L45/00(2006.01)I	IPC主分类号	H01L45/00(2006.01)I
专利有效期	三明治型刀片状电极的相变存储结构及其制备方法至三明治型刀片状电极的相变存储结构及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种三明治型刀片状电极的相变存储结构及其制备方法，在衬底上与下电极不重合的位置制备支撑结构；依次沉积第一绝缘材料层、与下电极接触的加热电极层以及第二绝缘材料层；利用相互垂直的第一、第二分隔槽分隔相邻所述下电极，形成三明治型刀片状电极；在所述第一、第二分隔槽内沉积绝缘材料；形成绝缘材料层并平坦化；使得三明治型刀片状电极露出；在所述三明治型刀片状电极上方形成与其接触的相变材料层；在所述相变材料层上形成上电极。本发明克服因加热电极被氧化导致电阻稳定性差，三明治型刀片状纳米电极包覆的氮化物有助于阻止电极被氧化，从而避免电极阻值的不稳定，克服了相变存储器器件的失效，提高器件的成品率。