专利详情

专利名称	一种投影物镜数值孔径测量装置及方法
申请号	CN201310390028.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103439868A	公开（授权）日	2013.12.11
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	陈红丽;邢廷文;林妩媚;廖志杰
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种投影物镜数值孔径测量装置及方法至一种投影物镜数值孔径测量装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种投影物镜数值孔径的测量装置及方法，包括：物面上放置的小孔阵列，像面上放置的一个可以在xyz向的高精度步进工件台，在工件台上安装波像差测量装置。测量方法包括如下步骤：将小孔阵列放置在物面上；将波前探测器放置在物镜像面位置；设置物镜NA使用照明光束照明掩模；使测试台在Z方向运动，使用波前探测器找到波像差最小的位置；记录下此时的波像差值及坐标位置；改变测试台位置和照明光束，重复前述两步，直到所有视场点的最小WFE值及坐标均被测得；计算投影物镜的数值孔径。使用本发明的一种原位测量投影物镜数值孔径的方法，实现了物镜数值孔径的原位与在线测量，同时测量方法简单、方便。