用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置
- 申请号：CN201310360623.5
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN103439865A
- 公开(公开)日：2013.12.11
- 法律状态：实质审查的生效
- 出售价格： 面议 立即咨询
专利详情
| 专利名称 | 用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置 | ||
| 申请号 | CN201310360623.5 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103439865A | 公开（授权）日 | 2013.12.11 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 林栋梁;马兴华;任冰强;程伟林;张友宝;钱珍梅;屈建峰;孙征宇;黄惠杰 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 专利有效期 | 用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置 至用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种用于步进扫描光刻机的扫描狭缝装置，由四个相同的刀片组件通过四个限位连接件连接而成，四个限位连接件将相邻刀片组件两两进行紧连，四个刀片组件按旋转对称方式集成到两个正交方向上，相邻刀片组件的刀口相互垂直，四个刀口共面且与系统的光轴垂直，四个刀口中间形成的开口即为扫描狭缝。本发明既能实现最大行程内的平面任意范围的高精度二维扫描，又能保证两维方向上的扫描刀口共面。 | ||
交易流程
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选取所需
专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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