专利详情

专利名称	一种非接触式检测曲面棱镜的方法及装置
申请号	CN201310384858.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103439086A	公开（授权）日	2013.12.11
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	聂云峰;相里斌;周锦松;吕群波;黄旻
主分类号	G01M11/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/00(2006.01)I
专利有效期	一种非接触式检测曲面棱镜的方法及装置至一种非接触式检测曲面棱镜的方法及装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种非接触式检测曲面棱镜的方法及装置，首先将单色平面光射入到待测曲面棱镜后，形成球面波与平面波的叠加；再通过平面棱镜调整波面的传播方向，并通过校正镜组校正所述待测曲面棱镜成像引入的像差；由图像接收器件接收校正处理后的图像，所述图像接收器件接收到的是衍射造成的点扩散图样；根据所述图像接收器件接收到的图像判别所述待测曲面棱镜是否达到精度要求。该检测方法采用非接触测量，不损伤元件加工面，通过图像即可判定加工是否合格，可作为在线快速、批量检测Fery棱镜的有效手段。