专利详情

专利名称	原子力传感器的制造方法和传感器及其测定装置和方法
申请号	CN201210168057.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103424572A	公开（授权）日	2013.12.04
申请（专利权）人	国家纳米科学中心	发明（设计）人	陈鹏程;袁秉凯;仉君;程志海;裘晓辉
主分类号	G01Q60/38(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q60/38(2010.01)I
专利有效期	原子力传感器的制造方法和传感器及其测定装置和方法至原子力传感器的制造方法和传感器及其测定装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	公开了原子力传感器的制造方法和传感器及其测定装置和方法，其中，制造方法包括：将音叉的下悬臂以绝缘胶固定在陶瓷基底上，其中陶瓷基底上设置有隧道电流引出电极和电荷引出电极，音叉的上悬臂末端和下悬臂末端各有一个音叉电极；在音叉的上悬臂近自由端位置涂覆矩形绝缘层；将钨丝的一端部和金丝的一端部在矩形绝缘层上相胶粘，其中钨丝和金丝分别与音叉的上悬臂相垂直，其中金丝为近U形；将金丝的另一端与隧道电流引出电极相连接；将音叉的上悬臂末端的音叉电极通过导线与电荷引出电极相连接；以及将钨丝的自由端蚀刻为针尖状。通过本发明能够快速制备参数精确可控的小振幅原子力传感器，提高短程力在测量信号中的比例，提高传感器分辨率。