一种生长碲化铋纳米薄膜的热壁外延装置
- 申请号:CN201320218528.7
- 专利类型:实用新型
- 申请(专利权)人:中国科学院上海技术物理研究所
- 公开(公开)号:CN203320181U
- 公开(公开)日:2013.12.04
- 法律状态:
- 出售价格: 面议 立即咨询
专利详情
专利名称 | 一种生长碲化铋纳米薄膜的热壁外延装置 | ||
申请号 | CN201320218528.7 | 专利类型 | 实用新型 |
公开(公告)号 | CN203320181U | 公开(授权)日 | 2013.12.04 |
申请(专利权)人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明(设计)人 | 郭建华;邓惠勇;邱锋;孙艳;李小南;俞国林;戴宁 |
主分类号 | C30B23/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B23/02(2006.01)I;C30B29/46(2006.01)I |
专利有效期 | 一种生长碲化铋纳米薄膜的热壁外延装置 至一种生长碲化铋纳米薄膜的热壁外延装置 | 法律状态 | |
说明书摘要 | 本实用新型公开了一种生长碲化铋纳米薄膜的热壁外延装置。该装置包括真空腔体、生长炉、气氛补偿炉、衬底支架、不锈钢挡板、生长石英管和带孔石英挡板:生长炉包括补偿源炉体、生长源炉体和热壁炉体。生长炉内放入装有石英挡板的生长石英管。气氛补偿炉是单温区炉,为生长结束后降温的外延薄膜提供一个补偿气氛。采用此装置能够外延生长具有化学计量比的单晶碲化铋纳米薄膜。 |
交易流程
-
01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
-
05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
1、源头对接,价格透明
2、平台验证,实名审核
3、合同监控,代办手续
4、专员跟进,交易保障
- 用户留言
暂时还没有用户留言