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单一高次谐波紫外单色光源

  • 申请号:CN201310371236.1
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN103427323A
  • 公开(公开)日:2013.12.04
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 单一高次谐波紫外单色光源
申请号 CN201310371236.1 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103427323A 公开(授权)日 2013.12.04
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 尉鹏飞;曾志男;苗境;姜甲明;葛晓春;李闯;李儒新
主分类号 H01S3/10(2006.01)I IPC主分类号 H01S3/10(2006.01)I;G02F1/35(2006.01)I
专利有效期 单一高次谐波紫外单色光源 至单一高次谐波紫外单色光源 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种单一高次谐波紫外单色光源,包括800nm强场偏振激光、光束整形器、光能量调控器、光相位调制器、汇聚透镜、长程相互作用气体盒、金属铝膜、真空腔体等组成。本发明能产生单一高次谐波。这种高单色高相干的紫外辐射可用于微纳结构的高精度加工和探测,以及高精度的全息相干成像等领域,应用广泛。

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