全内反射原位照明装置及其控制方法
- 申请号：CN201310382156.6
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN103424843A
- 公开(公开)日：2013.12.04
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 全内反射原位照明装置及其控制方法 | ||
| 申请号 | CN201310382156.6 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103424843A | 公开（授权）日 | 2013.12.04 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 崔辉;刘世杰;赵元安;易葵;吴建波;杨俊;刘杰 |
| 主分类号 | G02B7/198(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B7/198(2006.01)I |
| 专利有效期 | 全内反射原位照明装置及其控制方法 至全内反射原位照明装置及其控制方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种全内反射原位照明装置及其控制方法，全内反射原位照明装置，包括激光光源、偏振态转换单元、第一反射镜、第二反射镜、直角导光棱镜和计算机，本发明通过计算机的控制所述的一维电机平移台和一维电机转动台的组合来精确控制第二反射镜的高度位置和角度状态实现了改变光线入射角前后样品表面的照明区域位置基本不变的目的。本发明装置结构简单紧凑，具有良好的应用前景。 | ||
交易流程
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