专利详情

专利名称	微型角速度传感器
申请号	CN201210151254.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103424110A	公开（授权）日	2013.12.04
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	焦继伟;王敏昌
主分类号	G01C19/5712(2012.01)I	IPC主分类号	G01C19/5712(2012.01)I;G01C19/5733(2012.01)I
专利有效期	微型角速度传感器至微型角速度传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种微型角速度传感器，包括位于第一基板上表面的检测电极，悬于所述第一基板上的驱动质量块、平动质量块、转动质量块、第一梳齿、第二梳齿、检测梳齿、弹性梁，以及固定于所述第一基板上的锚点，还包括用于电连接的多个焊盘及引线。本发明可用以检测一个方向或相互垂直的两个方向的外部角速度，也可同时检测相互正交的三个方向的外部角速度，其中，三个方向为垂直于所述微型角速度传感器所在平面的方向、及位于所述微型角速度传感器所在平面内且相互垂直的两个方向。本发明采用两个转动质量块分别检测所述传感器所在平面内相互垂直的两个方向的外部角速度，有效减少检测信号之间的耦合，降低相互干扰，从而提高检测精度。