专利详情

专利名称	一种真空精密位移装置
申请号	CN201210160407.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103424303A	公开（授权）日	2013.12.04
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	郭晓东;谢楠;颜世超;宫会期;单欣岩;郭阳;陆兴华
主分类号	G01N1/36(2006.01)I	IPC主分类号	G01N1/36(2006.01)I
专利有效期	一种真空精密位移装置至一种真空精密位移装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种真空精密位移装置，包括：底法兰(1)；顶法兰(2)；连接二法兰的波纹管(7)；用于安装顶法兰(2)的位移台(3)，顶法兰(2)能够相对位移台(3)平动；用于驱动顶法兰(2)的运动机构，其包括第一运动装置(5)和第二运动装置(6)。第一运动装置(5)能够使顶法兰(2)相对位移台(3)平动，第二运动装置(6)能够使位移台(3)相对底法兰(1)纵向运动。其中，第二运动装置(6)连接底法兰(1)与位移台(3)并且至少有两组，它们以大致均匀间隔的方式设置在底法兰(1)上，在使位移台(3)运动的同时支撑位移台(3)。这种位移装置具有结构简单，占用面积小，成本低，力学性能较好的特点。