专利详情

专利名称	材料分压放气率测量装置
申请号	CN201320268410.5	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203310715U	公开（授权）日	2013.11.27
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	王魁波;吴晓斌;王宇;陈进新;罗艳;谢婉露;张罗莎
主分类号	G01N7/14(2006.01)I	IPC主分类号	G01N7/14(2006.01)I
专利有效期	材料分压放气率测量装置至材料分压放气率测量装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种材料分压放气率测量装置，装置包括抽气泵组、超高真空室、测试室、两个质谱计、两个角阀和样品室，抽气泵组用于对超高真空室抽真空，样品室用于放置样品，测试室通过小孔与超高真空室连接，两个质谱计分别与所述超高真空室和测试室相连，超高真空室和测试室还分别通过两个角阀与样品室相连接。使用该测量装置时，通过测得在样品室放入样品和未放入样品、两个角阀一开一关而排列组合成的四个状态的气体组分分压来计算出样品的分压放气率。本实用新型能够动态、实时、准确地测量材料的分压放气率和总放气率。