专利详情

专利名称	一种电磁驱动微型二维扫描镜装置
申请号	CN201310351183.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103399402A	公开（授权）日	2013.11.20
申请（专利权）人	国家纳米科学中心	发明（设计）人	张弛;薛飞;钟贤岱;王中林
主分类号	G02B26/10(2006.01)I	IPC主分类号	G02B26/10(2006.01)I
专利有效期	一种电磁驱动微型二维扫描镜装置至一种电磁驱动微型二维扫描镜装置	法律状态	专利申请权、专利权的转移
说明书摘要	本发明公开了一种电磁驱动微型二维扫描镜装置，属于微扫描技术和MEMS技术领域，采用体硅及表面微加工技术制作，是一种带两对正交磁极的微型二维扫描镜装置。该电磁驱动微型二维扫描镜装置包括：反射镜面、内基板、外基板、基座、内扭转梁、外扭转梁；所述反射镜面位于内基板上且连为一体，内基板通过一对位置相对的内扭转梁与外基板相连，外基板通过一对位置相对的外扭转梁与固定的基座连接，内扭转梁与外扭转梁相正交。微型二维扫描镜器件采用硬铝结构封装，内部采用两组磁极和磁轭形成正交磁场，输入信号由封装结构侧壁引入，封装结构顶端采用透明玻璃封盖。本发明致动效率高，扭转力大，结构紧凑，可实现较大角度的二维扫描。