专利详情

专利名称	硒化/硫化处理装置
申请号	CN201310339544.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103397305A	公开（授权）日	2013.11.20
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院;香港中文大学	发明（设计）人	李朝晖;宋秋明;谭兴;吕文博;顾光一;肖旭东
主分类号	C23C14/58(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/58(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	硒化/硫化处理装置至硒化/硫化处理装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种硒化/硫化处理装置，包括反应炉、样片传送机构及离子生成器。反应炉内部开设有反应腔；样片传送机构用于放置并传送沉积有前驱体的样片，所述样片位于所述反应腔顶部；离子生成器设置于所述反应腔的底部，并与所述样片相对，所述离子生成器包括收容壳及射频天线；收容壳上开设有收容槽，所述收容槽用于收容硒源或硫源；射频天线设置于所述收容壳外侧，所述射频天线与外部射频电源电连接，用于产生射频电场以将硒源或硫源电离为硒离子或硫离子。上述硒化/硫化处理装置通过射频天线产生射频电场，以将硒源或硫源电离生成高活性的硒离子或硫离子，提高了硒化或者硫化的质量，制得的太阳能电池吸收层质量较好，进而提高了太阳能电池的转换效率。