专利详情

专利名称	一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法
申请号	CN201310303061.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103400895A	公开（授权）日	2013.11.20
申请（专利权）人	深圳先进技术研究院	发明（设计）人	于冰;杨春雷;程冠铭;冯叶;鲍浪;郭延璐;徐苗苗
主分类号	H01L31/18(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/18(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I
专利有效期	一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法至一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法，包括：将铜、锌、锡及硫四种元素沉积于衬底表面，以形成铜锌锡硫前驱体；将铜锌锡硫前驱体置于真空环境中，并通入由保护气体和硫化氢气体组成的混合气体；将上述铜锌锡硫前驱体以6.25℃/min～13.75℃/min的升温速率从室温升温至150℃～300℃，并保温10min～20min；再以5℃/min的升温速率升温至480℃，并保温20min～30min；再以5℃/min的升温速率升温至500℃，并保温15min后自然冷却至室温，在衬底表面得到铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜。通过上述制备方法，从而形成均匀的，致密的铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜。