专利详情

专利名称	光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置
申请号	CN201310322690.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103399387A	公开（授权）日	2013.11.20
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	彭海峰;巩岩;何欣;陈华男;李显凌;倪明阳
主分类号	G02B7/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置至光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	光刻投影物镜系统中光学元件多气囊支撑装置，属于深紫外投影光刻物镜装调技术领域，为解决现有光学元件检测装置存在的对镜片面型影响大、支撑力不均匀的问题，该装置包括光学元件、多个气囊、底座、充气管和转接头；光学元件放置于多个气囊上；所述的多个气囊在底座上面沿圆周均匀分布设置；气囊通过转接头与充气管相连接；所述气囊包括气袋，底部两侧设置两排螺纹孔，底部设置进气孔；底座包括长孔、螺钉孔、减重孔和凹槽；气囊的进气孔伸入底座的长孔内；所述的气囊底部的螺纹孔与底座上的螺钉孔通过螺钉相连接；减重孔设置在底座中心圆形区域；凹槽与充气管配合；有效降低调整力对光学元件面型的影响；避免了机械夹持时出现的三叶像差和像散。