专利详情

专利名称	光学元件气囊支撑装置
申请号	CN201310322903.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103399388A	公开（授权）日	2013.11.20
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	彭海峰;巩岩;何欣;倪明阳;赵磊;李显凌
主分类号	G02B7/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	光学元件气囊支撑装置至光学元件气囊支撑装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	投影物镜系统中光学元件气囊支撑装置，属于光学检测技术领域，为提高检测的复现性和重复性，本发明气囊支撑装置包括橡胶支撑座、大压圈、小压圈和底座，光学元件放置于气囊支撑装置上，橡胶支承座被压圈固定在底座上，进气口和出气口设置在底座内，橡胶支承座底部设置圆弧形凸台，与底座上截面为圆弧状的凹槽配合；在充气时，外部设置气管，气压表和调流阀，通过调节调流阀控制气流的大小，影响支承座内部的气压，进而调节光学元件与橡胶支承座的接触面积；充液时，外部设置一稳流单向阀，并设置一液压控制装置使得液体源在充液时能够控制液压的大小；在充气和充液后，将光学元件放置于支承座上；本装置可实现光学元件的高精度检测支撑。